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设备功能
- COW/COTAOI用于GaN、GaAs、InPchip等芯片外观检测,支持4@、6@、8@、12@晶圆或者COT样品检测
- 常规检测:电极异常、外延层脱落、切割道异常、发光区异常、残金、双晶、外延异常
- 支持用户定义或协商定制缺陷类别，最小检测缺陷尺寸0.5um
- 深度学习系统与神经网络算法，可以对缺陷类别进行精准分类
- 产能 (WPH)@3X optics
3xCOW:4"@30mil,4"@8mil,6"@8mil,6"@4mil
3xCOT:4"@8mil, 4"@4mil
3xCOTD :4"@8mil, 4"@4mil, 6"@8mil, 6"@4mil
- 软件功能:晶圆搬运控制、状态指示、安全互锁、数据采集、测量结果数据处理、Recipe编辑与管理、缺陷复查(Review)、图形化界面、设备状况记录
- 用户权限:工艺工程师、设备工程师，操作员
- 可按照用户需求，定义产品Bin值
- 可由用户自行进行检测参数，卡控标准的设定
设备参数
- 设备尺寸:长2300mmx宽1800mm x高1900mm
- 设备重量:1000Kg
- 额定电压:AC/220V/2P50Hz
- 额定功率:10KW
- 压缩气体气压:5-7bar
- 合格率:99.5%
- 噪 音:<60dB
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